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第三百七十七章 第四代光刻机的变态参数!
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“如这张简要设计图所示,我们在这套系统中,创造出了波长为零点五纳米的超紫外混合激光,其精度,是目前全球最先进,as集团euv机台的整整二十七倍”
“而为了获得比极紫外更强的光源,星辰光学团队研发了cst全反射变焦镜头组件,变焦十六倍,数值孔径零点零三三,最大曝光范围七十六乘以九十三毫米”
“这套透镜,是德国卡尔蔡司透镜性能的,整整三十倍”云来阁 http://www.xyyqm.com
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